全自动氦质谱检漏仪
型号：JL-300
一、产品介绍
设备内芯采用*技术，具有灵敏度高，反应快，开机时间短等特点JL-300型是一款分体式检漏仪。
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。
在这个密封腔体内充满氦气，用质谱检漏仪在不腔体外，不同部位检测，如果密封存在问题，则有氦气泄漏，被质谱仪检测到。

全自动氦质谱检漏仪

JL-142W(D)型是一款液晶触摸

彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主

要配置采用检漏仪定制产品。设备内

芯的制造借鉴*技术，整机设

置合理、性能稳定。具有灵敏度高，

反应快，开机时间短等特点。检漏效

果达到*水平。

主要技术指标

1、真空模式小可检漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）

真空模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s

2、吸枪模式小可检漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）

吸枪模式漏率显示范围：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s

3、启动时间：≤3min

4、响应时间：≤0.5s

5、检漏口的压力：1500Pa

6、电源要求：220v，50Hz，单相，10A

7、工作环境：5-35℃

9、相对湿度：≤80%

9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）

10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg

主要配置

1、德国普发检漏仪分子泵（*）

2、W 为油式机械泵，D 为干式机械泵

3、定制检漏仪电磁阀

4、阀体

5、原装晶圆放大器

6、采用质谱?？?

7、液晶触摸彩屏

8、双灯丝（氧化钇金丝），自动调氦峰，自动切换