通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。
3. 的高性能
日立环境多功能原子力显微镜Z采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。 漂移量：

 环境多功能原子力显微镜

AFM5300E是一款环境型原子力显微镜，它的环境控制单元可以使样品在大气中、真空中、溶液中等环境中进行测量。AFM5300E还具有高低温控制功能，可以检测温度对样品表面形貌和物理特性的影响。

·         特点

1. 环境控制功能（大气，真空，液体，温控等）

AFM5300E能够实现高真空的测试环境，几乎避免了样品表面吸附水对测试的影响，实现的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。另外，新开发的『温度扫描功能』可监视样品Z方向的热胀冷缩，通过控制反馈信号，使悬臂在变温环境下连续测试样品表面的物理特性。
（3857581号、3926638号）
●大气中　●液体中　●真空中　●特殊气氛（流量控制）
●温度控制 加热?冷却(-120～300℃)　高温(室温～800℃)
●湿度控制(0～80%)
●外加磁?。ㄋ?、垂直、面内旋转、max 5000 Oe ）

2. 简便操作（综合型Holder Flange）

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。

3. 的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下

4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。