氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

　　如何校准氦质谱检漏仪的漏率？氦质谱检漏仪内部一般有标准漏孔，可以拆卸校准。如果标准漏孔不能单独校准，可以通过氦质谱检漏仪进行漏率部分的校准。接下来给大家分享遇到这种情况该怎么办？

　　1.环境条件校准

　　在校准过程中，室温变化不超过±1℃，环境相对湿度不超过80%；不会受到气流和强电磁场等外部干扰；环境温度控制在23℃附近。

　　2.选择标准器

　　标准装置采用渗氢型标准漏孔，漏率标称值为(10-6-10-10-10)pa.m3/s，不确定度不大于10%；精密玻璃温度计，测量范围(0~50)℃，不确定度U=0.04℃，k=2。

　　3.校准方法

　　(1)漏率校准。

　?、傩Ｗ枷低车淖槌捎杀曜悸┛?、截止阀和标准的氦质谱检漏仪组成。

　?、谑滴蟛钔ǖ绮⒃と?。等待氦质谱检漏仪启动后，利用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准。一旦校准的标准漏孔连接到氦质谱检漏仪系统，并运行氦质谱检漏仪。泄漏率指示值稳定后，可读出标准泄漏率的氦质谱检漏仪示值，并对同一标准漏孔进行三次测量，计算氦质谱检漏仪示值的平均值

　　假如试验结果有较大偏差，可以考虑氦质谱检漏仪的自校功能，完成后再用标准漏孔进行试验。